Наукова періодика України Ядерна фізика та енергетика


Soroka V. I. 
Modified backscattering method of the nanometer self-supporting films and surface layers thickness measurements / V. I. Soroka // Ядерна фізика та енергетика. - 2015. - Т. 16, № 4. - С. 421-425. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/yadf_2015_16_4_16
До типової схеми зворотного розсіяння додається монітор-переривник пучка прискорених іонів. Процедура вимірювання товщини тепер потребує набору двох спектрів. Один спектр отримується для досліджуваної мішені, а другий - для мішені, що імітує товсту підкладку. Однакові експозиції за набору обох спектрів забезпечуються монітором-переривником. Якщо підібрати підкладку з того ж самого хімічного елемента, що й досліджувана мішень, то кінцева формула для розрахунку товщини значно спрощується. Сфера застосування методу поширюється як на самопідтримуючі плівки, так і на поверхневі шари.
  Повний текст PDF - 399.416 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Soroka V.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Soroka V. I. Modified backscattering method of the nanometer self-supporting films and surface layers thickness measurements / V. I. Soroka // Ядерна фізика та енергетика. - 2015. - Т. 16, № 4. - С. 421-425. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/yadf_2015_16_4_16.

      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського