Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники

Филатов, Ю. Д.; Сидорко, В. И.; Ковалев, С. В.; Филатов, А. Ю.; Монтей, Г.


	Наукова періодика України		Надтверді матеріали

Филатов Ю. Д.
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю. Д. Филатов, В. И. Сидорко, С. В. Ковалев, А. Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. - 2017. - № 4. - С. 80-87. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sm_2017_4_9

Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением формы обрабатываемой поверхности.

Повний текст PDF - 469.768 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Филатов Ю. Д. Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю. Д. Филатов, В. И. Сидорко, С. В. Ковалев, А. Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. - 2017. - № 4. - С. 80-87. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sm_2017_4_9.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача