Наукова періодика України Надтверді матеріали


Филатов Ю. Д. 
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю. Д. Филатов, В. И. Сидорко, С. В. Ковалев, А. Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. - 2017. - № 4. - С. 80-87. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sm_2017_4_9
Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением формы обрабатываемой поверхности.
  Повний текст PDF - 469.768 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Филатов Ю.
  • Сидорко В.
  • Ковалев С.
  • Филатов А.
  • Монтей Г.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Филатов Ю. Д. Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю. Д. Филатов, В. И. Сидорко, С. В. Ковалев, А. Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. - 2017. - № 4. - С. 80-87. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sm_2017_4_9.

      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського