На основе физико-статистической модели образования частиц шлама обрабатываемого материала при алмазном полировании проведен анализ производительности съема и точности геометрической формы плоских поверхностей оптоэлектронных элементов из кварца, нитрида алюминия и нитрида галлия. Определены наиболее рациональные значения кинематических параметров настройки станка, при которых достигается требуемая точность формообразования. Приведены результаты экспериментальной проверки данных расчета производительности полирования и отклонения формы обработанных поверхностей.

  Повний текст PDF - 346.041 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"