Наукова періодика України | Надтверді матеріали | ||
Филатов А. Ю. Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов / А. Ю. Филатов, В. И. Сидорко, С. В. Ковалев, Ю. Д. Филатов, А. Г. Ветров // Сверхтвердые материалы. - 2016. - № 3. - С. 63-76. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sm_2016_3_8 В результате исследований закономерностей формирования плоскостей монокристаллов с различной кристаллографической ориентацией установлено, что при полировании сапфира параметры шероховатости Ra, Rq, Rmax уменьшаются в ряду c >> r >> m >> a при уменьшении диэлектрической проницаемости, коэффициента теплопроводности обрабатываемого материала, высоты частиц шлама и константы Лифшица, характеризующей энергию взаимодействия зерен полировального порошка с обрабатываемой поверхностью. Определены минимально допустимые значения параметров шероховатости атомарно гладких поверхностей, которые линейно зависят от межплоскостных расстояний и уменьшаются в ряду r > a > c > m. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Филатов А. Ю. Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов / А. Ю. Филатов, В. И. Сидорко, С. В. Ковалев, Ю. Д. Филатов, А. Г. Ветров // Сверхтвердые материалы. - 2016. - № 3. - С. 63-76. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sm_2016_3_8. Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |