Показано можливість модифікування кремнієвих зондів атомно-силового мікроскопа тонкім зносостійким вуглецевим покриттям, що приводить до покращання їх експлуатаційних властивостей (зменшує імовірність виникнення артефактів сканування на 20 - 22 %, збільшує термін експлуатації на 45 - 55 %). Запропоновано оптимальні режими нанесення таких покриттів термічним випаровуванням у вакуумі з подальшою низькоенергетичною електронно-променевою їх мікрообробкою. Проведено перевірку якості нанесеного покриття, яка встановила зменшення субшорсткості поверхні зонда у 15 - 25 разів, а також збільшення мікротвердості та зносостійкості цих покриттів у 1,1 - 1,35 разу.

  Повний текст PDF - 1.144 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"