Наукова періодика України | Надтверді матеріали | ||
Ivashchenko V. I. Comparative investigation of NbN and Nb–Si–N films: experiment and theory / V. I. Ivashchenko, P. L. Scrynskyy, O. S. Lytvyn, O. O. Butenko, O. K. Sinelnichenko, L. Gorb, F. Hill, J. Leszczynski, A. O. Kozak // Сверхтвердые материалы. - 2014. - № 5. - С. 29-43. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sm_2014_5_4 Зазначено, що NbN і Nb-Si-N плівки осаджували на кремнієві пластини за допомогою методу магнетронного розпилення мішеней Nb і Si за різних потужностей розряду на мішені із Nb. Плівки досліджено за допомогою атомно-силового мікроскопа, дифракції рентгенівських променів, рентгенівської фотоелектронної спектроскопії, нано- і мікроіндентування. NbN плівки були наноструктуровані, тоді як Nb-Si-N плівки являли агрегацію <$E delta>-NbN Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Ivashchenko V. I. Comparative investigation of NbN and Nb–Si–N films: experiment and theory / V. I. Ivashchenko, P. L. Scrynskyy, O. S. Lytvyn, O. O. Butenko, O. K. Sinelnichenko, L. Gorb, F. Hill, J. Leszczynski, A. O. Kozak // Сверхтвердые материалы. - 2014. - № 5. - С. 29-43. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sm_2014_5_4.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |