Наукова періодика України Надтверді матеріали


Ivashchenko V. I. 
Comparative investigation of NbN and Nb–Si–N films: experiment and theory / V. I. Ivashchenko, P. L. Scrynskyy, O. S. Lytvyn, O. O. Butenko, O. K. Sinelnichenko, L. Gorb, F. Hill, J. Leszczynski, A. O. Kozak // Сверхтвердые материалы. - 2014. - № 5. - С. 29-43. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sm_2014_5_4
Зазначено, що NbN і Nb-Si-N плівки осаджували на кремнієві пластини за допомогою методу магнетронного розпилення мішеней Nb і Si за різних потужностей розряду на мішені із Nb. Плівки досліджено за допомогою атомно-силового мікроскопа, дифракції рентгенівських променів, рентгенівської фотоелектронної спектроскопії, нано- і мікроіндентування. NbN плівки були наноструктуровані, тоді як Nb-Si-N плівки являли агрегацію <$E delta>-NbNx нанокристалітів, вкраплених в аморфну Si3N4 матрицю (nc-<$E delta>-NbNx/a-Si3N4). Відпал плівок у вакуумі показав, що їх інтенсивне окиснення відбувається при температурі вищій, ніж 600 <$E symbol Р>С. Для пояснення експериментальних результатів по Nb-Si-N плівках проведено моделювання NbN (001)/Si3N4 гетероструктури із перших принципів в межах молекулярної динаміки.
  Повний текст PDF - 1.531 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Ivashchenko V.
  • Scrynskyy P.
  • Lytvyn O.
  • Butenko O.
  • Sinelnichenko O.
  • Gorb L.
  • Hill F.
  • Leszczynski J.
  • Kozak A.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Ivashchenko V. I. Comparative investigation of NbN and Nb–Si–N films: experiment and theory / V. I. Ivashchenko, P. L. Scrynskyy, O. S. Lytvyn, O. O. Butenko, O. K. Sinelnichenko, L. Gorb, F. Hill, J. Leszczynski, A. O. Kozak // Сверхтвердые материалы. - 2014. - № 5. - С. 29-43. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sm_2014_5_4.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Іващенко Володимир Іванович (1956–) (фізико-математичні науки)
  • Горб Леонід Григорович (хімічні науки)
  • Козак Андрій Олександрович (фізико-математичні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського