Наукова періодика України Надтверді матеріали

Цысарь М. А. 
Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии / М. А. Цысарь // Сверхтвердые материалы. - 2013. - № 1. - С. 56-65. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sm_2013_1_6
Рассмотрены особенности структуры и свойств наноструктурных пленок нитрида титана на кремниевой подложке и построена физико-математическая модель формирования рельефа их поверхности на основе деформационной теории. Получена зависимость длины волны поверхностной гофрировки от толщины пленки. Исследована топография рельефа поверхности, сформированного в результате диффузионного массопереноса и измененного при отжиге. Определена амплитуда образовавшихся гофр.
  Повний текст PDF - 936.488 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Цысарь М.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Цысарь М. А. Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии / М. А. Цысарь // Сверхтвердые материалы. - 2013. - № 1. - С. 56-65. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/sm_2013_1_6.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського