| Наукова періодика України |
| Сенсорна електроніка і мікросистемні технології |
Дружинін А. О. Напівпровідниковий інтегральний елемент на основі наноструктур кремнію для інформаційних систем / А. О. Дружинін, І. Т. Когут, О. Ю. Ховерко, В. І. Голота, Ю. М. Ховерко // Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. - 2015. - Т. 12, № 1. - С. 100-107. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/seimt_2015_12_1_13 Розглянуто чутливий елемент акселерометра, виконаний з використанням суміщеної технології створення структур кремній-на-ізоляторі та ниткоподібних нанокристалів кремнію. На його основі розроблено малоінерційний, швидкодіючий, високочутливий до прискорення і переміщень пристрій із субмікрометровими і нанометровими топологічними розмірами. Це надало змогу реалізувати як дискретний прилад, так і елемент зінтегрованих наноелектромеханічних систем зі структурою кремній-на-ізоляторі, який забезпечує контроль переміщення з точністю 200 нм. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Дружинін А. О. Напівпровідниковий інтегральний елемент на основі наноструктур кремнію для інформаційних систем / А. О. Дружинін, І. Т. Когут, О. Ю. Ховерко, В. І. Голота, Ю. М. Ховерко // Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. - 2015. - Т. 12, № 1. - С. 100-107. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/seimt_2015_12_1_13.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця" |
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |
|||||
