Наукова періодика України | Наука та інновації | ||
Чапон П. Характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™ / П. Чапон, О. К. Костенко // Наука та інновації. - 2012. - Т. 8, № 2. - С. 34-38. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/scinn_2012_8_2_8 Methods of optical emission spectrometry of grow HF-dis charge are described. The unique characteristics of GD plasma, which allow performing very fast surface erosion, are presented. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Чапон П. Характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™ / П. Чапон, О. К. Костенко // Наука та інновації. - 2012. - Т. 8, № 2. - С. 34-38. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/scinn_2012_8_2_8.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |