Наукова періодика України Реєстрація, зберігання і обробка даних

Индутный И. З. 
Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se / И. З. Индутный, А. А. Крючин, Ю. А. Бородин, В. А. Данько, М. В. Луканюк, В. И. Минько, П. Е. Шепелявый, Э. В. Гера, В. М. Рубиш // Реєстрація, зберігання і обробка даних. - 2013. - Т. 15, № 4. - С. 3-12. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/rzod_2013_15_4_3
Представлены результаты экспериментальных исследований по записи микрорельефных структур сфокусированным лазерным излучением с длиной волны 405 нм на пленках неорганических фоторезистов системы Ge - Se. Показано, что микрорельефные структуры глубиной 100 нм могут быть получены на неорганических фоторезистах состава GeSe3. Увеличение содержания германия (исследовался состав GeSe2) не позволяет получать микрорельефные структуры с глубиной рельефа, необходимой для изготовления дисков-оригиналов, используемых в производстве DVD и BD компакт-дисков. Пленки с высоким содержанием Se (GeSe8) характеризуются наличием кристаллических включений и не могут быть использованы для получения микрорельефных структур при записи информации на диски-оригиналы.
  Повний текст PDF - 457.369 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Индутный И.
  • Крючин А.
  • Бородин Ю.
  • Данько В.
  • Луканюк М.
  • Минько В.
  • Шепелявый П.
  • Гера Э.
  • Рубиш В.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Индутный И. З. Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se / И. З. Индутный, А. А. Крючин, Ю. А. Бородин, В. А. Данько, М. В. Луканюк, В. И. Минько, П. Е. Шепелявый, Э. В. Гера, В. М. Рубиш // Реєстрація, зберігання і обробка даних. - 2013. - Т. 15, № 4. - С. 3-12. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/rzod_2013_15_4_3.
    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Крючин Андрій Андрійович (1948–) (технічні науки)
    •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського