Наукова періодика України Радіоелектронні і комп’ютерні системи


Поляков П. Ф. 
Микросистемная техника / П. Ф. Поляков, И. Ш. Невлюдов, В. А. Палагин, В. А. Хорунжий, В. П. Поляков, Я. Ю. Королева // Радіоелектронні і комп’ютерні системи. - 2006. - № 4. - С. 21–30. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/recs_2006_4_6
Рассмотрены основные технологические методы изготовления микроэлектромеханических систем и особенности использования КМОП-технологии при изготовлении изделий микросистемной техники (МСТ). МСТ наряду с нанотехнологиями является революционным направлением развития техники XXI века.
  Повний текст PDF - 489.135 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Поляков П.
  • Невлюдов И.
  • Палагин В.
  • Хорунжий В.
  • Поляков В.
  • Королева Я.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Поляков П. Ф. Микросистемная техника / П. Ф. Поляков, И. Ш. Невлюдов, В. А. Палагин, В. А. Хорунжий, В. П. Поляков, Я. Ю. Королева // Радіоелектронні і комп’ютерні системи. - 2006. - № 4. - С. 21–30. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/recs_2006_4_6.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Поляков Володимир Петрович (технічні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського