Наукова періодика України | Радіоелектронні і комп’ютерні системи | ||
Поляков П. Ф. Микросистемная техника / П. Ф. Поляков, И. Ш. Невлюдов, В. А. Палагин, В. А. Хорунжий, В. П. Поляков, Я. Ю. Королева // Радіоелектронні і комп’ютерні системи. - 2006. - № 4. - С. 21–30. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/recs_2006_4_6 Рассмотрены основные технологические методы изготовления микроэлектромеханических систем и особенности использования КМОП-технологии при изготовлении изделий микросистемной техники (МСТ). МСТ наряду с нанотехнологиями является революционным направлением развития техники XXI века. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Поляков П. Ф. Микросистемная техника / П. Ф. Поляков, И. Ш. Невлюдов, В. А. Палагин, В. А. Хорунжий, В. П. Поляков, Я. Ю. Королева // Радіоелектронні і комп’ютерні системи. - 2006. - № 4. - С. 21–30. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/recs_2006_4_6.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |