Микросистемная техника

Поляков, П. Ф.; Невлюдов, И. Ш.; Палагин, В. А.; Хорунжий, В. А.; Поляков, В. П.; Королева, Я. Ю.


	Наукова періодика України		Радіоелектронні і комп’ютерні системи

Поляков П. Ф.
Микросистемная техника / П. Ф. Поляков, И. Ш. Невлюдов, В. А. Палагин, В. А. Хорунжий, В. П. Поляков, Я. Ю. Королева // Радіоелектронні і комп’ютерні системи. - 2006. - № 4. - С. 21–30. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/recs_2006_4_6

Рассмотрены основные технологические методы изготовления микроэлектромеханических систем и особенности использования КМОП-технологии при изготовлении изделий микросистемной техники (МСТ). МСТ наряду с нанотехнологиями является революционным направлением развития техники XXI века.

Повний текст PDF - 489.135 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Поляков П. Ф. Микросистемная техника / П. Ф. Поляков, И. Ш. Невлюдов, В. А. Палагин, В. А. Хорунжий, В. П. Поляков, Я. Ю. Королева // Радіоелектронні і комп’ютерні системи. - 2006. - № 4. - С. 21–30. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/recs_2006_4_6.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Поляков Володимир Петрович (технічні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача