Effect of Substrate Temperature on the Properties of PECVD SiCN Films

Kozak, A.; Porada, O.; Ivashchenko, V.; Ivashchenko, L.; Tomila, T.


	Наукова періодика України		Proceedings of the International Conference Nanomaterials: Applications and Properties

Kozak A.
Effect of Substrate Temperature on the Properties of PECVD SiCN Films / A. Kozak, O. Porada, V. Ivashchenko, L. Ivashchenko, T. Tomila // Proceedings of the International Conference Nanomaterials: Applications and Properties. - 2014. - Vol. 3, no. 1. - С. 01NTF12-01NTF12. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/princon_2014_3_1_30

Повний текст PDF - 737.17 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Kozak A. Effect of Substrate Temperature on the Properties of PECVD SiCN Films / A. Kozak, O. Porada, V. Ivashchenko, L. Ivashchenko, T. Tomila // Proceedings of the International Conference Nanomaterials: Applications and Properties. - 2014. - Vol. 3, no. 1. - С. 01NTF12-01NTF12. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/princon_2014_3_1_30.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Козак Андрій Олександрович (фізико-математичні науки)

Порада Олександр Карпович (технічні науки)

Іващенко Володимир Іванович (1956–) (фізико-математичні науки)

Іващенко Людмила Андріївна (технічні науки)

Томила Тамара Василівна (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача