Immersion Lithography with Using of Photostimulated Etching of Germanium Chalcogenide Films

Dan’ko, V. A.; Indutnyi, I. Z.; Myn’ko, V. I.; Shepeliavyi, P. E.; Lykanyuk, M. V.; Litvin, O. S.


	Наукова періодика України		Proceedings of the International Conference Nanomaterials: Applications and Properties

Dan’ko V. A.
Immersion Lithography with Using of Photostimulated Etching of Germanium Chalcogenide Films / V. A. Dan’ko, I. Z. Indutnyi, V. I. Myn’ko, P. E. Shepeliavyi, M. V. Lykanyuk, O. S. Litvin // Proceedings of the International Conference Nanomaterials: Applications and Properties. - 2013. - Vol. 2, no. 3. - С. 03AET03-03AET03. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/princon_2013_2_3_68

Повний текст PDF - 347.361 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Dan’ko V. A. Immersion Lithography with Using of Photostimulated Etching of Germanium Chalcogenide Films / V. A. Dan’ko, I. Z. Indutnyi, V. I. Myn’ko, P. E. Shepeliavyi, M. V. Lykanyuk, O. S. Litvin // Proceedings of the International Conference Nanomaterials: Applications and Properties. - 2013. - Vol. 2, no. 3. - С. 03AET03-03AET03. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/princon_2013_2_3_68.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача