Наукова періодика України Оптоелектроніка та напівпровідникова техніка

Станецкая А. С. 
Химическое травление поверхности кристаллов ZnSe растворами H2O2–HBr–уксусная кислота / А. С. Станецкая, В. Н. Томашик, И. Б. Стратийчук, З. Ф. Томашик, С. Н. Галкин // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 2014. - Вып. 49. - С. 53-59. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/ont_2014_49_9
Разработаны бромвыделяющие травители H2O2 - HBr - уксусная кислота для формирования полированной поверхности кристаллов нелегированного и легированного ZnSe. Изучены зависимости скорости растворения кристаллов от состава травителей, их перемешивания и температуры. Построены диаграммы "состав раствора - скорость травления" и установлены концентрационные границы полирующих растворов. Оптимизированы составы полирующих смесей для травления ZnSe методами химико-динамического и химикомеханического полирования. Исследовано состояние поверхности кристаллов селенида цинка методами электронной микроскопии после механической и химической обработки.
  Повний текст PDF - 640.789 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Станецкая А.
  • Томашик В.
  • Стратийчук И.
  • Томашик З.
  • Галкин С.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Станецкая А. С. Химическое травление поверхности кристаллов ZnSe растворами H2O2–HBr–уксусная кислота / А. С. Станецкая, В. Н. Томашик, И. Б. Стратийчук, З. Ф. Томашик, С. Н. Галкин // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 2014. - Вып. 49. - С. 53-59. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/ont_2014_49_9.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського