Рассмотрены пленки золота, которые наносили методом термического испарения в вакууме на полированные кварцевые подложки и подвергали термическому отжигу на воздухе в течение 30 мин в интервале температур 80 - 300 <$E symbol Р>C. Кристаллическую структуру полученных образцов исследовали методом дифракции рентгеновского характеристического излучения меди. Для описания процесса реконструкции поверхности золотой пленки под действием термического отжига использовали комплексный анализ характеристик изображений поверхности, полученных с помощью атомно-силовой микроскопии (АСМ). Проведена оценка размера зерен в плоскости подложки, среднеквадратической шероховатости поверхности (СШ), функций спектральной плотности мощности (PSD) и гистограмм распределения по высоте. Показано, что у пленок поликристаллическая структура с преимущественной ориентацией кристаллитов в направлении <011>, а также есть квазиаморфная фаза золота с характерным размером зерен 5 - 10 А. С повышением температуры отжига текстура пленок становится более выраженной и размер зерен увеличивается. Максимальная вариация рельефа поверхности составляет 2,5 нм, а размеры зерен в плоскости подложки находятся в диапазоне 20 - 200 нм. В результате температурного отжига до - 120 <$E symbol Р>C средний размер кристаллитов существенно не изменяется, а изменяется лишь рельеф золотой поверхности, существенно уменьшая мелкомасштабную шероховатость. При температуре отжига свыше 150 <$E symbol Р>C наблюдался фазовый переход, обусловленный процессами перекристаллизации и приводящий к формированию кристаллитов большего размера и сглаживанию поверхностного рельефа.

  Повний текст PDF - 302.402 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"