Наукова періодика України Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології

Кравченко Ю. С. 
Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску / Ю. С. Кравченко, А. Ю. Савицький // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. - 2008. - № 2. - С. 175-181. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/oeiet_2008_2_32
Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспективу їх використання за технологічних умов.
  Повний текст PDF - 768.161 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Кравченко Ю.
  • Савицький А.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Кравченко Ю. С. Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску / Ю. С. Кравченко, А. Ю. Савицький // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. - 2008. - № 2. - С. 175-181. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/oeiet_2008_2_32.
    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Савицький Антон Юрійович (технічні науки)
    •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського