Features of Structure of Magnetron Films Si3N4 and SiC

Kuzmenko, A. P.; Chekadanov, A. S.; Zakhvalinsky, S. V.; Pilyuk, E. A.; Dobromyslov, M. B.


	Наукова періодика України		Journal of Nano- and Electronic Physics

Kuzmenko A. P.
Features of Structure of Magnetron Films Si3N4 and SiC / A. P. Kuzmenko, A. S. Chekadanov, S. V. Zakhvalinsky, E. A. Pilyuk, M. B. Dobromyslov // Journal of Nano- and Electronic Physics. - 2013. - Vol. 5, № 4(1). - С. 04025-1-04025-3. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnep_2013_5_4%281%29__27

By small-angle X-ray scattering and atomic force microscopy shows the features of the structure of thin films of Si₃N₄ and SiC, deposited by magnetron sputtering on glass substrates.

Повний текст PDF - 542.864 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Kuzmenko A. P. Features of Structure of Magnetron Films Si3N4 and SiC / A. P. Kuzmenko, A. S. Chekadanov, S. V. Zakhvalinsky, E. A. Pilyuk, M. B. Dobromyslov // Journal of Nano- and Electronic Physics. - 2013. - Vol. 5, № 4(1). - С. 04025-1-04025-3. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnep_2013_5_4(1)__27.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача