Наукова періодика України Journal of Nano- and Electronic Physics

Kavitha C. 
An Improved SPICE Model for MEMS Based Capacitive Accelerometers / C. Kavitha, M. G. Madhan // Journal of Nano- and Electronic Physics. - 2013. - Vol. 5, № 2. - С. 02011-1-02011-7. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnep_2013_5_2_13
An improved electrical equivalent circuit for a capacitive MEMS accelerometer, incorporating temperature, pressure and squeezed film effects is reported. The circuit model corresponds to a single degree of freedom (SDOF) vibrating system, including dominant micro physical mechanisms. Static, transient and frequency response analysis are carried out at temperature and pressure ranges of 100 K to 400 K and 30 to 3000 Pa respectively. The effect of these parameters on the resonance frequency, peak displacement and settling time of the accelerometer are determined. Simulations are performed using PSpice' circuit simulator.
  Повний текст PDF - 3.539 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Kavitha C.
  • Madhan M.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Kavitha C. An Improved SPICE Model for MEMS Based Capacitive Accelerometers / C. Kavitha, M. G. Madhan // Journal of Nano- and Electronic Physics. - 2013. - Vol. 5, № 2. - С. 02011-1-02011-7. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnep_2013_5_2_13.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського