Используя комплекс методов структурной инженерии включающий: элементный анализ, рентгендифракционные исследования и измерения микротвердости в работе проведен анализ влияния рабочего давления азотной атмосферы при осаждении (PN) на формирование фазово-структурного состояния и механические свойства многопериодных вакуумно-дуговых покрытий системы (Ti,Si)N/MoN. Показано, что в интервале используемых давлений <$EP sub N ~=~0,05~-~0,67> Па при повышении давления происходят изменения на элементном уровне: уменьшается содержание Si, увеличиваются - N и отношения Mo/Ti). На фазовом уровне в основном изменения происходят в слоях на основе молибдена, где с увеличением даатення происходит переход <$Eroman {Mo~symbol О~y-Mo sub 2 N~symbol О~MoN}>. Наибольшая твердость (37,5 ГПа) достигается в этом случае при образовании слоев TiN/y-Mo2N с изоструктурной кристаллической решеткой. Использование высокотемпературного отжига (1023 К) позволяет повысить твердость покрытий, полученных при относительно невысоком PN = 0,09 Па, когда из-за малого содержания азота возможно формирование дополнительной твердой фазы Ti5Si3.

  Повний текст PDF - 483.33 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"