Наукова періодика України Journal of Nano- and Electronic Physics

Колесников Д. А. 
Многослойные нитридные покрытия (TiZrNbHf)N/MoN / Д. А. Колесников, У. С. Немченко, В. М. Береснев, О. В. Соболь, В. А. Новиков, С. В. Литовченко, В. А. Столбовой, И. Ю. Гончаров, П. В. Турбин, Л. В. Маликов // Журнал нано- та електронної фізики. - 2016. - Т. 8, № 3. - С. 03045-1-03045-6. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2016_8_3_47
Показано, что при невысоком отрицательном потенциале смещения, подаваемом на подложку при осаждении (Uсм менее 150 В), в многослойных покрытиях с толщиной слоев около 50 нм можно достичь двухфазного состояния с преимущественной ориентацией кристаллитов. Это обуславливает высокую твердость (до 59 ГПа) и одновременно высокую адгезионную прочность (критическая нагрузка достигает 124,9 H). Наблюдается низкий износ покрытия при взаимодействии с контртелом из Al2O3.
  Повний текст PDF - 523.434 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Колесников Д.
  • Немченко У.
  • Береснев В.
  • Соболь О.
  • Новиков В.
  • Литовченко С.
  • Столбовой В.
  • Гончаров И.
  • Турбин П.
  • Маликов Л.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Колесников Д. А. Многослойные нитридные покрытия (TiZrNbHf)N/MoN / Д. А. Колесников, У. С. Немченко, В. М. Береснев, О. В. Соболь, В. А. Новиков, С. В. Литовченко, В. А. Столбовой, И. Ю. Гончаров, П. В. Турбин, Л. В. Маликов // Журнал нано- та електронної фізики. - 2016. - Т. 8, № 3. - С. 03045-1-03045-6. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2016_8_3_47.
    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Соболь Олег Валентинович (фізико-математичні науки)
  • Литовченко Сергій Володимирович (фізико-математичні науки)
    •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського