Влияние безвакуумного отжига на морфологию покрытий NbNx, NbSix : N

Рогоз, В. Н.; Кузьменко, А. П.; Соболь, О. В.; Плющик, А.


	Наукова періодика України		Journal of Nano- and Electronic Physics

Рогоз В. Н.
Влияние безвакуумного отжига на морфологию покрытий NbNx, NbSix : N / В. Н. Рогоз, А. П. Кузьменко, О. В. Соболь, А. Плющик // Журнал нано- та електронної фізики. - 2016. - Т. 8, № 2. - С. 02019-1-02019-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2016_8_2_21

Описаны особенности изменения нитридных покрытий NbN_x и легированных атомами Si NbN_x : Si с добавлением примеси кремния и без него. Образцы были получены с помощью метода магнетронного осаждения при отрицательном потенциале U_s = - 10 В на подложку из кремния. После осаждения проводился высокотемпературный отжиг 800 °C в атмосфере воздуха.

Повний текст PDF - 757.403 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Рогоз В. Н. Влияние безвакуумного отжига на морфологию покрытий NbNx, NbSix : N / В. Н. Рогоз, А. П. Кузьменко, О. В. Соболь, А. Плющик // Журнал нано- та електронної фізики. - 2016. - Т. 8, № 2. - С. 02019-1-02019-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2016_8_2_21.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Соболь Олег Валентинович (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача