Наукова періодика України Journal of Nano- and Electronic Physics


Береснев В. М. 
Влияние на механические характеристики толщины слоев в многослойных покрытиях MoN/CrN, осаждаемых под действием отрицательного потенциала смещения / В. М. Береснев, О. В. Соболь, А. В. Столбовой, С. В. Литовченко, Д. А. Колесников, У. С. Немченко, А. А. Мейлехов, А. А. Постельник // Журнал нано- та електронної фізики. - 2016. - Т. 8, № 1. - С. 01043-1-01043-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2016_8_1_45
С использованием метода структурной инженерии проведено комплексное исследование влияния толщины слоев многослойной композиции MoN/CrN при действии постоянного отрицательного Ub на фазово-структурное состояние и механические характеристик покрытий. Выявлено, что в составляющих (Cr-N и Mo-N) слоях формируются фазы с изоструктурной кубической (типа NaCl) кристаллической решеткой с осью текстуры [311] при малом Ub = - 20 В и [111] при большом Ub = - 150 В. Установлено, что перемешивание в межграничной области слоев при больших Ub = - 150 В приводит к резкому снижению механических свойств при толщине слоев h ≤ 40 нм. Наивысшая твердость 39,8 ГПа и абразивная прочность для LC5 = 145 H. была достигнута для h ≈ 12 нм при подаче малого Ub = - 20 В.
  Повний текст PDF - 553.356 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Береснев В.
  • Соболь О.
  • Столбовой А.
  • Литовченко С.
  • Колесников Д.
  • Немченко У.
  • Мейлехов А.
  • Постельник А.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Береснев В. М. Влияние на механические характеристики толщины слоев в многослойных покрытиях MoN/CrN, осаждаемых под действием отрицательного потенциала смещения / В. М. Береснев, О. В. Соболь, А. В. Столбовой, С. В. Литовченко, Д. А. Колесников, У. С. Немченко, А. А. Мейлехов, А. А. Постельник // Журнал нано- та електронної фізики. - 2016. - Т. 8, № 1. - С. 01043-1-01043-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2016_8_1_45.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Соболь Олег Валентинович (фізико-математичні науки)
  • Литовченко Сергій Володимирович (фізико-математичні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського