Nanostructure Changes of Magnetron Copper Films with a Glass Ceramic Substrate

Kuzmenko, A. P.; Kuzko, A. E.; Naw, Dint; Than, M. M.; Dobromyslov, M. B.; Emelyanov, S. G.; Chervyakov, L. M.


	Наукова періодика України		Journal of Nano- and Electronic Physics

Kuzmenko A. P.
Nanostructure Changes of Magnetron Copper Films with a Glass Ceramic Substrate / A. P. Kuzmenko, A. E. Kuzko, Dint Naw, M. M. Than, M. B. Dobromyslov, S. G. Emelyanov, L. M. Chervyakov // Журнал нано- та електронної фізики. - 2015. - Т. 7, № 4. - С. 04095-1-04095-3. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2015_7_4_97

The present paper deals with the results of comprehensive research of heated in the air magnetron copper films by atomic-force and scanning electron microscopy, Raman scattering, IR-Fourier and X-Ray phase analysis, and spectral ellipsometry. According to the results of nano techniques, the relationship between amplitude and phase-frequency components of ellipsometric measurements and phase structure transformations has been established. The structural transition in the vicinity of 573 K, has been found.

Повний текст PDF - 352.336 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Kuzmenko A. P. Nanostructure Changes of Magnetron Copper Films with a Glass Ceramic Substrate / A. P. Kuzmenko, A. E. Kuzko, Dint Naw, M. M. Than, M. B. Dobromyslov, S. G. Emelyanov, L. M. Chervyakov // Журнал нано- та електронної фізики. - 2015. - Т. 7, № 4. - С. 04095-1-04095-3. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2015_7_4_97.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача