Наукова періодика України Journal of Nano- and Electronic Physics


Eidelman K. B. 
Influence of Order of Double Step Implantation of 64Zn+ and 16O+ Ions into Si on Formation of Zinc-containing Nanoparticles / K. B. Eidelman, K. D. Shcherbachev, N. Yu. Tabachkova, A. V. Goryachev, D. M. Migunov, D. A. Doronova // Журнал нано- та електронної фізики. - 2015. - Т. 7, № 4. - С. 04028-1-04028-3. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2015_7_4_30
This paper presents the research the formation of zinc-containing nanoparticles (NPs) in Si (001) after double-step hot implantation of 64Zn+ and 16O+ ions. High-resolution Transmission Electron Microscopy (HRTEM) and X-ray Diffraction (XRD) methods were used to study a crystal structure of the samples. Depth profiles of implanted impurity atoms were measured by Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS). Zn NPs with a size of 3 up to 50 nm were found in the implanted samples. Zinc-containing NPs with the size of 5 - 10 nm were found in the surface layer of as-implanted Si substrates. The effect of the order of implantation on structural defects and the impurity atoms depth profiles is established.
  Повний текст PDF - 470.568 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Eidelman K.
  • Shcherbachev K.
  • Tabachkova N.
  • Goryachev A.
  • Migunov D.
  • Doronova D.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Eidelman K. B. Influence of Order of Double Step Implantation of 64Zn+ and 16O+ Ions into Si on Formation of Zinc-containing Nanoparticles / K. B. Eidelman, K. D. Shcherbachev, N. Yu. Tabachkova, A. V. Goryachev, D. M. Migunov, D. A. Doronova // Журнал нано- та електронної фізики. - 2015. - Т. 7, № 4. - С. 04028-1-04028-3. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2015_7_4_30.

      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського