Наукова періодика України | Journal of Nano- and Electronic Physics | ||
Соболь О. В. Пинчук Н. В. Влияние высоковольтного импульсного потенциала, подаваемого на подложку, на фазовый состав и структуру вакуумно-дуговых покрытий TiN / О. В. Пинчук Н. В. Соболь, A. A. Aндреев // Журнал нано- та електронної фізики. - 2015. - Т. 7, № 2. - С. 02042-1-02042-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2015_7_2_44 Проанализировано влияние подачи высоковольтного потенциала в импульсной форме разной длительности на формирование преимущественно ориентированных кристаллитов и напряженно-деформированное состояние TiN вакуумно-дуговых покрытий. Показано, что осаждение покрытий в условиях высоковольного каскадообразующего воздействия приводит к росту кристаллитов с осью текстуры [110] и изменению напряженно-деформированного состояния: усилению деформации в группе кристаллитов с осью [110] и уменьшению деформации в группе кристаллитов с осью [111]. Полученные результаты объяснены увеличением подвижности атомов и процессами упорядочения в области каскадов смещений, образующихся под действием бомбардирующих высокоэнергетичных ионов, ускоренных в поле высоковольного импульсного потенциала. Построена обобщенная зависимость типа текстуры от величины импульсного потенциала и влияния доли длительности импульса, подаваемого на подложку, от общего времени осаждения. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Соболь О. В. Пинчук Н. В. Влияние высоковольтного импульсного потенциала, подаваемого на подложку, на фазовый состав и структуру вакуумно-дуговых покрытий TiN / О. В. Пинчук Н. В. Соболь, A. A. Aндреев // Журнал нано- та електронної фізики. - 2015. - Т. 7, № 2. - С. 02042-1-02042-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2015_7_2_44.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |