Наукова періодика України | Journal of Nano- and Electronic Physics | ||
Перекрестов В. И. Получение пленок карбида кремния методом магнетронного распіления составной углерод-кремниевой мишени / В. И. Перекрестов, А. С. Корнющенко, И. В. Загайко // Журнал нано- та електронної фізики. - 2015. - Т. 7, № 2. - С. 02016-1-02016-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2015_7_2_18 Проанализированы известные методы получения конденсатов SiC, политипы этого соединения, а также предложена методика получения карбида кремния посредством магнетронного распыления составных мишеней. Приведены расчеты оптимальных геометрических характеристик составленной из кремния и графита распыляемой магнетроном мишени. По результатам исследования структуры конденсатов SiC при помощи ПЭМ и дифракции электронов, а также на основании определения элементного состава при использовании энерго-дисперсионного анализа были уточнены геометрические характеристики составной мишени, а также установлены оптимальные технологические условия получения конденсатов в виде политипа 3C - SiC, с близким к стехиометрическому элементным составом. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Перекрестов В. И. Получение пленок карбида кремния методом магнетронного распіления составной углерод-кремниевой мишени / В. И. Перекрестов, А. С. Корнющенко, И. В. Загайко // Журнал нано- та електронної фізики. - 2015. - Т. 7, № 2. - С. 02016-1-02016-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2015_7_2_18.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |