Modeling of Etching Nano-surfaces of Indium Phosphide

Khrypko, S. L.; Kidalov, V. V.; Kolominska, E. V.


	Наукова періодика України		Journal of Nano- and Electronic Physics

Khrypko S. L.
Modeling of Etching Nano-surfaces of Indium Phosphide / S. L. Khrypko, V. V. Kidalov, E. V. Kolominska // Журнал нано- та електронної фізики. - 2015. - Т. 7, № 1. - С. 01003-1-01003-3. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2015_7_1_5

This paper describes a mechanism for obtaining a regular porous structure InP, which is to use the method of photoelectrochemical etching. Through the use of simulation etching at the nanoscale, it is possible to get a regular uniform grid of nanopores on the surface of indium phosphide, which allows us to understand the mechanisms and the establishment of technological regimes anodic structures indium phosphide to produce a variety of devices.

Повний текст PDF - 232.584 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Khrypko S.

Kidalov V.

Kolominska E.

Бібліографічний опис для цитування:

Khrypko S. L. Modeling of Etching Nano-surfaces of Indium Phosphide / S. L. Khrypko, V. V. Kidalov, E. V. Kolominska // Журнал нано- та електронної фізики. - 2015. - Т. 7, № 1. - С. 01003-1-01003-3. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2015_7_1_5.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Кідалов Валерій Віталійович (1960–) (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача