Наукова періодика України | Journal of Nano- and Electronic Physics | ||
Соболь О. В. Структурная инженерия многослойной системы TiN / CrN, полученной вакуумно-дуговым испарением / О. В. Соболь, А. А. Андреев, В. Ф. Горбань, В. А. Столбовой, Н. В. Пинчук, А. А. Мейлехов // Журнал нано- та електронної фізики. - 2015. - Т. 7, № 1. - С. 01034-1-01034-6. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2015_7_1_36 С помощью методов рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и микроиндентирования исследованы фазовый состав, структура, субструктура и твердость вакуумно-дуговых многослойных покрытий системы TiN / CrN, полученных в интервале давления азота <$E1~cdot~10 sup - 5...5~cdot~10 sup -3> Торр при подаче постоянного и импульсного отрицательного потенциала смещения. Установлено формирование двухфазного состояния с преимущественной ориентацией роста кристаллитов. При высоком давлении <$E(1...5)~cdot~10 sup -3> Торр и подаче отрицательного постоянного потенциала смещения: U Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Соболь О. В. Структурная инженерия многослойной системы TiN / CrN, полученной вакуумно-дуговым испарением / О. В. Соболь, А. А. Андреев, В. Ф. Горбань, В. А. Столбовой, Н. В. Пинчук, А. А. Мейлехов // Журнал нано- та електронної фізики. - 2015. - Т. 7, № 1. - С. 01034-1-01034-6. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2015_7_1_36.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |