Наукова періодика України Journal of Nano- and Electronic Physics


Родіонова Т. В. 
Вплив лазерного відпалювання на морфологію поверхні та оптичні характеристики нанокремнієвих плівок / Т. В. Родіонова, А. С. Сутягіна, А. Г. Гуменюк, Л. Й. Робур // Журнал нано- та електронної фізики. - 2015. - Т. 7, № 1. - С. 01033-1-01033-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2015_7_1_35
Досліджено вплив лазерного відпалювання на мікрорельєф поверхні й оптичні властивості нанокристалічних плівок кремнію, що одержані за методом хімічного осадження з газової фази в реакторі зниженого тиску. Показано, що під час взаємодії з лазерним випромінюванням в плівках відбувається рекристалізація, внаслідок якої має місце згладжування поверхневих неоднорідностей та формування зерені агломератів. Такі структурні зміни призводять до зменшення вмісту оксиду кремнію у плівках за рахунок скорочення площі меж зерен. У спектрі поглинання плівок спостерігається додатковий максимум за 480 нм.
  Повний текст PDF - 1.131 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Родіонова Т.
  • Сутягіна А.
  • Гуменюк А.
  • Робур Л.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Родіонова Т. В. Вплив лазерного відпалювання на морфологію поверхні та оптичні характеристики нанокремнієвих плівок / Т. В. Родіонова, А. С. Сутягіна, А. Г. Гуменюк, Л. Й. Робур // Журнал нано- та електронної фізики. - 2015. - Т. 7, № 1. - С. 01033-1-01033-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2015_7_1_35.

      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського