Наукова періодика України | Journal of Nano- and Electronic Physics | ||
Родіонова Т. В. Вплив лазерного відпалювання на морфологію поверхні та оптичні характеристики нанокремнієвих плівок / Т. В. Родіонова, А. С. Сутягіна, А. Г. Гуменюк, Л. Й. Робур // Журнал нано- та електронної фізики. - 2015. - Т. 7, № 1. - С. 01033-1-01033-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2015_7_1_35 Досліджено вплив лазерного відпалювання на мікрорельєф поверхні й оптичні властивості нанокристалічних плівок кремнію, що одержані за методом хімічного осадження з газової фази в реакторі зниженого тиску. Показано, що під час взаємодії з лазерним випромінюванням в плівках відбувається рекристалізація, внаслідок якої має місце згладжування поверхневих неоднорідностей та формування зерені агломератів. Такі структурні зміни призводять до зменшення вмісту оксиду кремнію у плівках за рахунок скорочення площі меж зерен. У спектрі поглинання плівок спостерігається додатковий максимум за 480 нм. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Родіонова Т. В. Вплив лазерного відпалювання на морфологію поверхні та оптичні характеристики нанокремнієвих плівок / Т. В. Родіонова, А. С. Сутягіна, А. Г. Гуменюк, Л. Й. Робур // Журнал нано- та електронної фізики. - 2015. - Т. 7, № 1. - С. 01033-1-01033-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2015_7_1_35. Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |