RF Magnetron Sputtering of Silicon Carbide and Silicon Nitride Films for Solar Cells

Zakhvalinskii, V. S.; Piljuk, E. A.; Goncharov, I. Yu.; Rodriges, V. G.; Kuzmenko, A. P.; Taran, S. V.; Abakumov, P. A.


	Наукова періодика України		Journal of Nano- and Electronic Physics

Zakhvalinskii V. S.
RF Magnetron Sputtering of Silicon Carbide and Silicon Nitride Films for Solar Cells / V. S. Zakhvalinskii, E. A. Piljuk, I. Yu. Goncharov, V. G. Rodriges, A. P. Kuzmenko, S. V. Taran, P. A. Abakumov // Журнал нано- та електронної фізики. - 2014. - Т. 6, № 3. - С. 03062-1-03062-3. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2014_6_3_64

RF-magnetron nonreactive sputtering method from solid-phase target in argon atmosphere was used for obtaining thin silicon carbide and silicon nitride films, that are used for constructing solar cells based on substrates of single crystal silicon of p-type.

Повний текст PDF - 526.365 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Zakhvalinskii V. S. RF Magnetron Sputtering of Silicon Carbide and Silicon Nitride Films for Solar Cells / V. S. Zakhvalinskii, E. A. Piljuk, I. Yu. Goncharov, V. G. Rodriges, A. P. Kuzmenko, S. V. Taran, P. A. Abakumov // Журнал нано- та електронної фізики. - 2014. - Т. 6, № 3. - С. 03062-1-03062-3. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2014_6_3_64.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача