Small-scale Vacuum System for Deposition of Multilayer Metallic Films MVU TM – Magna 3M”

Odinokov, V. V.; Pavlov, G. Ya.; Panin, V. V.; Raschinsky, V. P.; Shpakov, A. N.; Shubnikov, A. V.


	Наукова періодика України		Journal of Nano- and Electronic Physics

Odinokov V. V.
Small-scale Vacuum System for Deposition of Multilayer Metallic Films "MVU TM – Magna 3M” / V. V. Odinokov, G. Ya. Pavlov, V. V. Panin, V. P. Raschinsky, A. N. Shpakov, A. V. Shubnikov // Журнал нано- та електронної фізики. - 2014. - Т. 6, № 3. - С. 03015-1-03015-2. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2014_6_3_17

A new small-scale vacuum system "MVU TM-Magna 3M" developed at JSC "Research Institute of Precision Machine Manufacturing" is described. Its assembly and working conditions are considered. This system was used for magnetron sputtering multilayer metallic films.

Повний текст PDF - 322.343 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Odinokov V. V. Small-scale Vacuum System for Deposition of Multilayer Metallic Films "MVU TM – Magna 3M” / V. V. Odinokov, G. Ya. Pavlov, V. V. Panin, V. P. Raschinsky, A. N. Shpakov, A. V. Shubnikov // Журнал нано- та електронної фізики. - 2014. - Т. 6, № 3. - С. 03015-1-03015-2. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2014_6_3_17.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача