| Наукова періодика України |
| Journal of Nano- and Electronic Physics |
Goloborodko A. A. Multiangular and Spectral Ellipsometry for Semiconductor Nanostructures Classification / A. A. Goloborodko, M. V. Epov, L. Y. Robur, T. V. Rodionova // Журнал нано- та електронної фізики. - 2014. - Т. 6, № 2. - С. 02002(5). - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2014_6_2_4 Исследованы возможности многопараметрического определения полупроводниковых наноструктур на основе спектральных зависимостей поляризованного излучения коэффициента отражения Rp, Rs от угла падения в диапазоне 200 - 800 нм. Экспериментальные данные показали высокие коэффициенты чувствительности отражения угловой зависимости от типа поликристаллических структур. Наличие дополнительных спектральных экстремумов в зависимости от преломления и поглощения может быть связано с размером зерен поликристаллической структуры и типа границ зерен. Показана возможность многопараметрического исследования оптических свойств и толщины полупроводниковых слоев на кремниевой подложке. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Goloborodko A. A. Multiangular and Spectral Ellipsometry for Semiconductor Nanostructures Classification / A. A. Goloborodko, M. V. Epov, L. Y. Robur, T. V. Rodionova // Журнал нано- та електронної фізики. - 2014. - Т. 6, № 2. - С. 02002(5). - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2014_6_2_4. Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця" |
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |
|||||
