Наукова періодика України Journal of Nano- and Electronic Physics


Корнющенко Г. С. 
Отримання шарів AlN при магнетронному розпиленні алюмінію в газовій суміші Ar + N2 / Г. С. Корнющенко // Журнал нано- та електронної фізики. - 2014. - Т. 6, № 2. - С. 02017(5). - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2014_6_2_19
Проведено дослідження впливу параметрів експерименту, таких як потужність розряду, тиск робочого газу, температура ростової поверхні на процес формування та основні характеристики шарів нітриду алюмінію. В результаті оптимізації вказаних параметрів одержані близькі до стехіометричного складу шари AlN, що мають кристалічну будову з гексагональною граткою типу вюрциту. Проведено дослідження структури, фазового складу та мікротвердості конденсатів, які мають найбільш близькі до стехіометричних елементні склади. Мікротвердість одержаних покриттів склала 0,760 - 1,12 ГПа.
  Повний текст PDF - 423.382 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Корнющенко Г.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Корнющенко Г. С. Отримання шарів AlN при магнетронному розпиленні алюмінію в газовій суміші Ar + N2 / Г. С. Корнющенко // Журнал нано- та електронної фізики. - 2014. - Т. 6, № 2. - С. 02017(5). - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2014_6_2_19.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Корнющенко Ганна Сергіївна (1983–) (фізико-математичні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського