| Наукова періодика України |
| Journal of Nano- and Electronic Physics |
Корнющенко Г. С. Отримання шарів AlN при магнетронному розпиленні алюмінію в газовій суміші Ar + N2 / Г. С. Корнющенко // Журнал нано- та електронної фізики. - 2014. - Т. 6, № 2. - С. 02017(5). - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2014_6_2_19 Проведено дослідження впливу параметрів експерименту, таких як потужність розряду, тиск робочого газу, температура ростової поверхні на процес формування та основні характеристики шарів нітриду алюмінію. В результаті оптимізації вказаних параметрів одержані близькі до стехіометричного складу шари AlN, що мають кристалічну будову з гексагональною граткою типу вюрциту. Проведено дослідження структури, фазового складу та мікротвердості конденсатів, які мають найбільш близькі до стехіометричних елементні склади. Мікротвердість одержаних покриттів склала 0,760 - 1,12 ГПа. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Корнющенко Г. С. Отримання шарів AlN при магнетронному розпиленні алюмінію в газовій суміші Ar + N2 / Г. С. Корнющенко // Журнал нано- та електронної фізики. - 2014. - Т. 6, № 2. - С. 02017(5). - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2014_6_2_19.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця" |
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |
|||||
