Про деякі удосконалення іонного мікрозондового аналізатора

Кузема, O. C.; Кузема, П. О.


	Наукова періодика України		Journal of Nano- and Electronic Physics

Кузема O. C.
Про деякі удосконалення іонного мікрозондового аналізатора / O. C. Кузема, П. О. Кузема // Журнал нано- та електронної фізики. - 2013. - Т. 5, № 3(2). - С. 030451-03045-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2013_5_3%282%29__21

Розглянуто іонно-оптичні властивості та характеристики іонного мікрозондового аналізатора, в якому сепарацію первинного іонного пучка за масами виконує секторна магнітна призма, а в системі аналізу вторинних іонів як енергоаналізатор застосовано сферичний конденсатор, що формує паралельний іонний пучок на вході в мас-аналізатор. Це надало змогу покращити параметри приладу та зменшити його габарити.

Повний текст PDF - 397.081 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Кузема O.

Кузема П.

Бібліографічний опис для цитування:

Кузема O. C. Про деякі удосконалення іонного мікрозондового аналізатора / O. C. Кузема, П. О. Кузема // Журнал нано- та електронної фізики. - 2013. - Т. 5, № 3(2). - С. 030451-03045-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2013_5_3(2)__21.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Кузема Павло Олександрович (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача