Наукова періодика України Journal of Nano- and Electronic Physics


Пономарева А. А. 
Формирование прецизионного пучка протонов в зондовой системе с индивидуальнымиисточниками питания магнитных квадрупольных линз (результаты эксперимента) / А. А. Пономарева, Д. В. Магилин, Г. С. Воробьев, А. Г. Пономарев // Журнал нано- та електронної фізики. - 2013. - Т. 5, № 1(2). - С. 01030-1-01030-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2013_5_1%282%29__17
Обоснована необходимость разработки новых зондовых систем формирования пучков протонов МэВ-ных энергий в литографических технологиях высокого разрешения. Описана экспериментальная установка ядерного сканирующего микрозонда и условий проведения эксперимента при определении параметров сформированного пучка: величины тока и размеров зонда. Данные эксперимента показали более чем троекратное увеличение плотности тока в зонде для предложенной системы - квадруплета магнитных квадрупольных линз с индивидуальными источниками питания по сравнению с конвенциальной системой, распределенным "русским квадруплетом".
  Повний текст PDF - 444.487 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Пономарева А.
  • Магилин Д.
  • Воробьев Г.
  • Пономарев А.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Пономарева А. А. Формирование прецизионного пучка протонов в зондовой системе с индивидуальнымиисточниками питания магнитных квадрупольных линз (результаты эксперимента) / А. А. Пономарева, Д. В. Магилин, Г. С. Воробьев, А. Г. Пономарев // Журнал нано- та електронної фізики. - 2013. - Т. 5, № 1(2). - С. 01030-1-01030-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2013_5_1(2)__17.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Воробйов Геннадій Савелійович (1947–) (фізико-математичні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського