Запропоновано вдосконалену методику калібрування растрових електронних мікроскопів у діапазоні 10-9-10-6 м, яка забезпечує автоматичне визначення масштабного коефіцієнта відеозображення та ефективного діаметра електронного зонда. Запропонована методика дає змогу автоматизувати процес калібрування, підвищити його точність і забезпечити впровадження концепції невизначеності вимірювань.Предложена усовершенствованная методика калибровки растровых электронных микроскопов в диапазоне 10-9-10-6 м, обеспечивающая автоматическое определение масштабного коэффициента видеоизображения и эффективного диаметра электронного зонда. Предложенная методика позволяет автоматизировать процесс калибровки, повысить ее точность и обеспечить внедрение концепции неопределенности измерений.Proposed improvement of calibration method for scanning electron microscopes in range 10-9-10-6 m, which provides automatic estimations of videoimage scaling factor and effective diameter of electron probe. Proposed method allows automation of calibration process, improves its accuracy and provides implementation of measurement uncertainty concept.

  Повний текст PDF - 390.679 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"