Наукова періодика України Авіаційно-космічна техніка і технологія


Слюсарь Д. В. 
Интегральные характеристики разряда в инверсном магнетроне с газовым анодом, секционированными катодными узлами и осевыми потоками плазмы / Д. В. Слюсарь // Авиационно-космическая техника и технология. - 2014. - № 2. - С. 91–95. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/aktit_2014_2_17
Показана необходимость использования контролируемого метода нанесения покрытий для реализации принципа конструирования покрытий. Сделан вывод о перспективности использования для решения стоящей задачи установок на основе инверсной магнетронной распылительной системы с газовым анодом, секционированными катодными узлами и осевыми потоками плазмы. Представлены и проанализированы результаты измерения интегральных характеристик исследуемой распылительной системы в зависимости от давления плазмообразующего газа и величины индукции магнитного поля в разрядном промежутке. Показано, что вольтамперные характеристики исследуемой распылительной системы и их изменение в зависимости от основных параметров, влияющих на ее работу, сходны по своему характеру с другими магнетронными распылительными системами. Даны рекомендации по выбору параметров ее работы.
  Повний текст PDF - 688.76 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Слюсарь Д.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Слюсарь Д. В. Интегральные характеристики разряда в инверсном магнетроне с газовым анодом, секционированными катодными узлами и осевыми потоками плазмы / Д. В. Слюсарь // Авиационно-космическая техника и технология. - 2014. - № 2. - С. 91–95. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/aktit_2014_2_17.

      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського