Состав и морфология кремний и кремний-германиевых пленок легированных бором и фосфором на монокристаллах SI И SI-GE

Бокучава, Г. В.; Вирич, В. Д.; Дарсавелидзе, Г. Ш.; Журавлёв, А. Ю.; Левенец, В. В.; Семёнов, Н. А.; Стригуновский, С. В.; Сущая, А. А.; Широков, Б. М.

С помощью методов лазерной масс-спектрометрии, микрорентгеноспектрального анализа, растровой микроскопии и ядерно-физическими исследованиями изучены морфология, состав эпитаксиальных пленок, определены профили распределения основных элементов Si, Ge и примесных Р и В. Получены профили распределения элементов на границе раздела подложка-пленка. Показано, что в зависимости от условий получения можно реализовывать поликристаллические и эпитаксиальные варианты структуры в широком диапазоне концентраций основных элементов и вводимых примесей Р и В.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"


	Наукова періодика України		Авіаційно-космічна техніка і технологія