Наукова періодика України Авіаційно-космічна техніка і технологія


Бокучава Г. В. 
Состав и морфология кремний и кремний-германиевых пленок легированных бором и фосфором на монокристаллах SI И SI-GE / Г. В. Бокучава, В. Д. Вирич, Г. Ш. Дарсавелидзе, А. Ю. Журавлёв, В. В. Левенец, Н. А. Семёнов, С. В. Стригуновский, А. А. Сущая, Б. М. Широков // Авиационно-космическая техника и технология. - 2010. - № 4. - С. 26–29. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/aktit_2010_4_7
С помощью методов лазерной масс-спектрометрии, микрорентгеноспектрального анализа, растровой микроскопии и ядерно-физическими исследованиями изучены морфология, состав эпитаксиальных пленок, определены профили распределения основных элементов Si, Ge и примесных Р и В. Получены профили распределения элементов на границе раздела подложка-пленка. Показано, что в зависимости от условий получения можно реализовывать поликристаллические и эпитаксиальные варианты структуры в широком диапазоне концентраций основных элементов и вводимых примесей Р и В.
  Повний текст PDF - 3.871 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Бокучава Г.
  • Вирич В.
  • Дарсавелидзе Г.
  • Журавлёв А.
  • Левенец В.
  • Семёнов Н.
  • Стригуновский С.
  • Сущая А.
  • Широков Б.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Бокучава Г. В. Состав и морфология кремний и кремний-германиевых пленок легированных бором и фосфором на монокристаллах SI И SI-GE / Г. В. Бокучава, В. Д. Вирич, Г. Ш. Дарсавелидзе, А. Ю. Журавлёв, В. В. Левенец, Н. А. Семёнов, С. В. Стригуновский, А. А. Сущая, Б. М. Широков // Авиационно-космическая техника и технология. - 2010. - № 4. - С. 26–29. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/aktit_2010_4_7.

      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського