Наукова періодика України | Eastern-European journal of enterprise technologies | ||
Сысоев Ю. А. Создание смесей газов для ионно-плазменных технологий / Ю. А. Сысоев, В. П. Руденко, А. В. Доломанов // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2014. - № 2(5). - С. 15-19. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2014_2%285%29__4 Предложен метод создания смесей газов, заключающийся в циклической продувке смесительной камеры одним газом и последующей подачи газов до заданных парциальных давлений. Разработан генератор газовых смесей, реализующий метод для случая трех газов, характеризующийся высокой производительностью и точностью соотношения компонентов в смеси (погрешность не выше 0,1 %). Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Сысоев Ю. А. Создание смесей газов для ионно-плазменных технологий / Ю. А. Сысоев, В. П. Руденко, А. В. Доломанов // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2014. - № 2(5). - С. 15-19. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2014_2(5)__4. Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |