Наукова періодика України Eastern-European journal of enterprise technologies

Сысоев Ю. А. 
Создание смесей газов для ионно-плазменных технологий / Ю. А. Сысоев, В. П. Руденко, А. В. Доломанов // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2014. - № 2(5). - С. 15-19. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2014_2%285%29__4
Предложен метод создания смесей газов, заключающийся в циклической продувке смесительной камеры одним газом и последующей подачи газов до заданных парциальных давлений. Разработан генератор газовых смесей, реализующий метод для случая трех газов, характеризующийся высокой производительностью и точностью соотношения компонентов в смеси (погрешность не выше 0,1 %).
  Повний текст PDF - 364.556 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Сысоев Ю.
  • Руденко В.
  • Доломанов А.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Сысоев Ю. А. Создание смесей газов для ионно-плазменных технологий / Ю. А. Сысоев, В. П. Руденко, А. В. Доломанов // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2014. - № 2(5). - С. 15-19. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2014_2(5)__4.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського