Наукова періодика України Eastern-European journal of enterprise technologies

Дружинін А. О. 
Дослідження поверхонь мультикристалічних підкладок кремнію насичених воднем методами мас-спектроскопії / А. О. Дружинін, В. Ю. Єрохов, М. М. Берченко // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2014. - № 1(5). - С. 34-37. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2014_1%285%29__8
За допомогою методів мас-спектрометрії вивчено насичені воднем гідрогенізовані поверхні кремнієвих мультикристалічних підкладок (МКП) типу Baysix з пористим кремнієм. Одержано 2D-іонні зображення поверхні МКП, одержані на мас-спектрометрі TOF5 SIMS за допомогою струму вторинних іонів H+ водню та молекулярного SiH2+. Визначення кількості водню в динамічному режимі травлення надав змогу одержати точний розподіл водню.
  Повний текст PDF - 625.489 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Дружинін А.
  • Єрохов В.
  • Берченко М.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Дружинін А. О. Дослідження поверхонь мультикристалічних підкладок кремнію насичених воднем методами мас-спектроскопії / А. О. Дружинін, В. Ю. Єрохов, М. М. Берченко // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2014. - № 1(5). - С. 34-37. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2014_1(5)__8.
    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Єрохов Валерій Юрійович (технічні науки)
    •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського