Наукова періодика України | Eastern-European journal of enterprise technologies | ||
Дружинін А. О. Дослідження поверхонь мультикристалічних підкладок кремнію насичених воднем методами мас-спектроскопії / А. О. Дружинін, В. Ю. Єрохов, М. М. Берченко // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2014. - № 1(5). - С. 34-37. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2014_1%285%29__8 За допомогою методів мас-спектрометрії вивчено насичені воднем гідрогенізовані поверхні кремнієвих мультикристалічних підкладок (МКП) типу Baysix з пористим кремнієм. Одержано 2D-іонні зображення поверхні МКП, одержані на мас-спектрометрі TOF5 SIMS за допомогою струму вторинних іонів H+ водню та молекулярного SiH Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Дружинін А. О. Дослідження поверхонь мультикристалічних підкладок кремнію насичених воднем методами мас-спектроскопії / А. О. Дружинін, В. Ю. Єрохов, М. М. Берченко // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2014. - № 1(5). - С. 34-37. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2014_1(5)__8.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |