Приведены результаты моделирования напряженно деформированного состояния подвеса при действии ускорения на чувствительный элемент микроакселерометра на поверхностных акустических волнах с кварцевой трапецеидальной консолью. Исследованы основные формы собственных колебаний чувствительного элемента с учетом анизотропии материала для ST и YX срезов кварца. Представлена математическая модель для вычисления упругих характеристик кристалла кварца в произвольном направлении. Показана существенная зависимость относительного удлинения оппозитных поверхностей подвеса от типа среза кварца. Моделирование проведено в программном пакете Comsol Multiphysics 4.3b. Полученные результаты могут применяться для оценки чувствительности и определения полосы пропускания микроакселерометра.

  Повний текст PDF - 546.098 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"