За допомогою методу Бітті виміряно спектро-еліпсометричні параметри тонких плівок молібдену різної товщини, а саме <$Etg PSI>, (де <$EPSI>-азимут відновленої лінійної поляризації відбитого світла) в ділянці довжин хвиль <$Elambda~symbol Ш~550~-~1200> нм. В цьому ж спектральному діапазоні на основі тришарової моделі тонкої плівки за допомогою рекурентних формул Ейрі розраховано аналогічні параметри. Порівняння експериментальних і теоретичних кривих показує їх якісне узгодження. В той же час повне кількісне узгодження відсутнє. Останнє пояснюється тим, що в теоретичній моделі межі поділу між шарами ідеально плоскі, а в реальних плівках шорсткі і неоднорідні. Як на теоретичних, так і на експериментальних спектральних кривих існує максимум, який можна пояснити міжзонними переходами в районі Г і Н точок зони Бріллюена. Центральний шар у тришаровій моделі є металічним молібденом, а крайні шари окислами Mo.

  Повний текст PDF - 381.195 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"