Досліджено вплив потужності магнетрона та співвідношення тисків робочих газів Ar/O2 на мікроструктуру та оптичні властивості плівок Zn0,9Cd0,1O. Плівки осаджено за допомогою методу магнетронного розпилювання на постійному струмі за температури підкладки 250 градусів за Цельсієм. Дослідження морфології поверхні, здійснені за допомогою атомно-силової мікроскопії, та рентгенофазовий аналіз (РФА) виявили сильний вплив технологічних параметрів осадження на мікроструктуру плівок. РФА показав, що всі вирощені плівки є полікристалічними й однофазними. Встановлено, що зростання парціального тиску аргону в газовій суміші Ar:O2 сприятливо впливає на кристалічну структуру твердих розчинів Zn0,9Cd0,1O. Розглянуто особливості контролю ширини забороненої зони та морфології поверхні твердих розчинів Zn0,9Cd0,1O шляхом зміни параметрів вирощування.

  Повний текст PDF - 1.469 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"