Досліджено вплив легуючих домішок арсену, хлору, цинку і способу хімічної обробки на зміну морфології поверхні та особливості структурно-фазової модифікації приповерхневого шару твердих розчинів CdTe, анодованих у сумішах HNO3:HF:H2O та HNO3:HCl:H2O. Встановлено, що поверхнева густина пор корелює з концентрацією легуючих домішок у високоомному p-CdTe. У твердих розчинах заміщення n-CdZnTe пороутворення практично відсутнє. Хімічна обробка зразків перед анодуванням, як і наявність домішки арсену, забезпечує більшу морфологічну однорідність поверхні під час пороутворення в CdTe. Домішка хлору сприяє інтенсифікації процесу електрохімічного травлення, а продукт реакції CdCl2 виділяється на поверхні у вигляді наноструктур товщиною 10 - 100 нм та довжиною до 10 - 30 мкм.