Контроль толщины полупроводниковых пластин в процессе производства

Стародубцев, Н. Г.; Демская, Н. П.; Теслюк, С. И.; Ихтияров, А. Ю.


	Наукова періодика України		Технология приборостроения

Стародубцев Н. Г.
Контроль толщины полупроводниковых пластин в процессе производства / Н. Г. Стародубцев, Н. П. Демская, С. И. Теслюк, А. Ю. Ихтияров // Технология приборостроения. - 2015. - № 2. - С. 56-58. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Tp_2015_2_17

Повний текст PDF - 136.683 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Стародубцев Н. Г. Контроль толщины полупроводниковых пластин в процессе производства / Н. Г. Стародубцев, Н. П. Демская, С. И. Теслюк, А. Ю. Ихтияров // Технология приборостроения. - 2015. - № 2. - С. 56-58. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Tp_2015_2_17.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача