Анализ условий формирования конденсированных фаз на поверхности кремниевых прутков-подложек

Реков, Ю. В.


	Наукова періодика України		Technology audit and production reserves

Реков Ю. В.
Анализ условий формирования конденсированных фаз на поверхности кремниевых прутков-подложек / Ю. В. Реков // Технологічний аудит та резерви виробництва. - 2012. - № 6(2). - С. 19-20. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Tatrv_2012_6%282%29__10

Приведен анализ образования конденсированых фаз на поверхности кремниевых прутков-подложек. Образование конденсационных слоев в системе расплав кремния - кремниевая основа - парогазовая фаза в вакууме проходит через ряд стадий, подчиняющихся определенным закономерностям: испарение, массоперенос и конденсация. Завершающим этапом является конденсация атомов кремния на боковой поверхности кремниевого прутка.

Повний текст PDF - 122.324 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Реков Ю.

Бібліографічний опис для цитування:

Реков Ю. В. Анализ условий формирования конденсированных фаз на поверхности кремниевых прутков-подложек / Ю. В. Реков // Технологічний аудит та резерви виробництва. - 2012. - № 6(2). - С. 19-20. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Tatrv_2012_6(2)__10.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Реков Юрій Васильович (технічні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача