Наукова періодика України | Technology audit and production reserves | ||
Реков Ю. В. Анализ условий формирования конденсированных фаз на поверхности кремниевых прутков-подложек / Ю. В. Реков // Технологічний аудит та резерви виробництва. - 2012. - № 6(2). - С. 19-20. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Tatrv_2012_6%282%29__10 Приведен анализ образования конденсированых фаз на поверхности кремниевых прутков-подложек. Образование конденсационных слоев в системе расплав кремния - кремниевая основа - парогазовая фаза в вакууме проходит через ряд стадий, подчиняющихся определенным закономерностям: испарение, массоперенос и конденсация. Завершающим этапом является конденсация атомов кремния на боковой поверхности кремниевого прутка. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Реков Ю. В. Анализ условий формирования конденсированных фаз на поверхности кремниевых прутков-подложек / Ю. В. Реков // Технологічний аудит та резерви виробництва. - 2012. - № 6(2). - С. 19-20. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Tatrv_2012_6(2)__10.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |