Проведены анализ и обобщение методов измерения вольтамперных характеристик (ВАХ) полупроводниковых приборов. Выделены их основные классификационные признаки и составлена классификация, с использованием которой определены наиболее эффективные методы измерения ВАХ с точки зрения сформулированных в работе критериев (длительность процесса измерения и степень его автоматизации, а также интенсивность саморазогрева полупроводниковых структур при измерениях).Проведено аналіз та узагальнено методи вимірювання вольтамперних характеристик (ВАХ) напівпровідникових приладів. Виділено їх основні класифікаційні ознаки та складено класифікацію, з використанням якої визначено найбільш ефективні методи вимірювання ВАХ з точки зору сформульо ваних в роботі критеріїв (тривалість процесу вимірювання та ступінь його автоматизації, а також інтенсивність саморозігріву напівпровідникових структур під час вимірювань).It is shown that computer systems for measuring current-voltage characteristics are very important for semiconductor devices production. The main criteria of efficiency of such systems are defined. It is shown that efficiency of such systems significantly depends on the methods for measuring current-voltage characteristics of semiconductor devices. The aim of this work is to analyze existing methods for measuring current-voltage characteristics of semiconductor devices and to create the classification of these methods in order to specify the most effective solutions in terms of defined criteria. To achieve this aim, the most common classifications of methods for measuring current-voltage characteristics of semiconductor devices and their main disadvantages are considered. Automated and manual, continuous, pulse, mixed, isothermal and isodynamic methods for measuring current-voltage characteristics are analyzed. As a result of the analysis and generalization of existing methods the next classification criteria are defined: the level of automation, the form of measurement signals, the condition of semiconductor device during the measurements, and the use of mathematical processing of the measurement results. With the use of these criteria the classification scheme of methods for measuring current-voltage characteristics of semiconductor devices is composed and the most effective methods are specified.

  Повний текст PDF - 350.217 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"