Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния

Дружинин, А. А.; Кутраков, А. П.; Лях-Кагуй, Н. С.; Вуйцик, А. М.


	Наукова періодика України		Технологія та конструювання в електронній апаратурі

Дружинин А. А.
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния / А. А. Дружинин, А. П. Кутраков, Н. С. Лях-Кагуй, А. М. Вуйцик // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. - 2013. - № 4. - С. 23-26. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/TKEA_2013_4_6

Представлена конструкция датчика давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния р-типа, легированных бором, с удельным сопротивлением 0,005 Ом•см, который работоспособен в интервале температур от –100 до +200 °С и в диапазоне давлений от 0 до 20 МПа. Датчик предназначен для широкой области применений.The article presents the design of a pressure-temperature sensor based on p-type silicon whiskers, doped with boron, with a resistivity of 0,005 Ohm•cm. The sensor is operable in a temperature range from –100 to +200 °C and at pressures from 0 to 20 MPa. The sensor is designed for a wide range of applications.

Повний текст PDF - 746.633 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Дружинин А. А. Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния / А. А. Дружинин, А. П. Кутраков, Н. С. Лях-Кагуй, А. М. Вуйцик // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. - 2013. - № 4. - С. 23-26. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/TKEA_2013_4_6.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Лях-Кагуй Наталія Степанівна (технічні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача