Наукова періодика України | Технологія та конструювання в електронній апаратурі | ||
Кудрик Я. Я. Технология изготовления контактов к карбиду кремния / Я. Я. Кудрик, Р. И. Бигун, Р. Я. Кудрик // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. - 2013. - № 1. - С. 25-37. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/TKEA_2013_1_6 Систематизированы имеющиеся в различных публикациях результаты исследований удельного сопротивления омических контактов к карбиду кремния, изготовленных без какой-либо модификации поверхности полупроводника. Проведен анализ группы контактов с наилучшими параметрами, и на основе его результатов даны рекомендации по оптимальным контактообразующим слоям для p- и n-типов SiC политипов 4H, 6H, 3C, 15R, 21R.Систематизовано наявні в різних публікаціях результати досліджень питомого опору омічних контактів до карбіду кремнію, виготовлених без будь-якої модифікації поверхні напівпровідника. Проведено аналіз групи контактів з найкращими параметрами, і на основі його результатів розроблено рекомендації щодо оптимальних контактотвірних шарів для p- та n-типів SiC політіпів 4H, 6H, 3C, 15R, 21R.The authors classified the results of investigations of resistivity of ohmic contacts to silicon carbide made without any semiconductor surface modification. A set of contacts with better parameters were analysed. From the results of this analysis, some recommendations were made concerning optimal contact-forming layers for p- and n-SiC types of 4H, 6H, 3C, 15R, 21R polytypes. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Кудрик Я. Я. Технология изготовления контактов к карбиду кремния / Я. Я. Кудрик, Р. И. Бигун, Р. Я. Кудрик // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. - 2013. - № 1. - С. 25-37. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/TKEA_2013_1_6.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |