Наукова періодика України Технологія та конструювання в електронній апаратурі

Семенова С. Э. 
Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок / С. Э. Семенова, Э. И. Семенов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. - 2006. - № 1. - С. 43-45. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/TKEA_2006_1_13
  Повний текст PDF - 553.286 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Семенова С.
  • Семенов Э.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Семенова С. Э. Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок / С. Э. Семенова, Э. И. Семенов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. - 2006. - № 1. - С. 43-45. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/TKEA_2006_1_13.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського